東莞市瑞智光電科技有限公司
專注于機器視覺、AI人工智能、激光、視覺檢測設備！
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2020-10-09 10:41:32 責任編輯： 瑞智光電 0
照相機是視覺檢測機中必不可少的部件，短波紅外（SWIR）照相機使用于紅外顯微成像，可檢驗半導體制作過程中的缺陷。電子設備在現如今現代科技中已十分遍及。每個人很有可能在應用電子設備時，直接就遇到并應用了硅晶圓。
硅——半導體的關鍵材料
晶圓是一種薄的半導體材料基材，用于制作電子一體式電路。半導體材料品種多樣，電子器材中最常用的一種半導體材料是硅（Si）。硅晶圓是一體式電路中的重點部分。它由高純度、簡直無缺陷的單晶硅棒利用切片制成，用作制作晶圓內和晶圓表面上微電子器材的基板。晶圓要利用多個微加工工藝過程才能制成，例如掩膜、蝕刻、摻雜和金屬化。
集成電路（IC）基本成為全部電子設備的要緊部件。IC是將很多電子電路和元件的微型結構移植印制到半導體晶體（例如硅Si）的材料的表面上。元件、電路和基材均制作在單個晶圓上。數以百計的一體式電路IC可一起在單個薄硅晶圓上制作，隨后切割成多個單獨的IC芯片。硅晶圓裂紋會損害最終商品品質。
視覺檢測機檢驗硅晶圓會堆集在成長、切開、研磨、蝕刻、拋光過程中的殘余應力。因而，硅晶圓在整個制作過程中很有可能發生裂紋，如果裂紋未被檢驗到，那些含有裂紋的晶圓就在后續生產制造時期中發生無用的商品。裂紋也很有可能在將一體式電路切割成單獨IC時發生。因而，若要下落制作成本，在進一步的加工前，檢查原材料基材的雜質、裂紋和在加工過程中檢驗缺陷十分關鍵。
